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展商推介 | 电科装备诚邀您莅临2026湾芯展

2026湾区半导体产业生态博览会(深圳)



邀请函


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尊敬的业界同仁:


您好!衷心感谢各位长期以来对电科装备的支持与厚爱。


2026湾区半导体产业生态博览会(深圳)将于10月14日-16日在深圳会展中心举办。电科装备将携产品亮相本次展会,诚邀您拨冗莅临我司展位参观洽谈,共话产业合作。

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   PART 01 

展台信息


时间:2026年10月14日-10月16日

地址:深圳会展中心(福田区福华三路111号)

展位:H9馆 9C02号

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   PART 02 

核心装备



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离子注入机全系列产品

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低能大束流离子注入机


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高能离子注入机


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中能大束流离子注入机


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SiC高温离子注入机


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中束流离子注入机

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Smart-Cut离子注入机


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CMP系列产品

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12英寸CMP

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8英寸CMP

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6-8英寸化合物CMP


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电子束直写设备

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电子束直写设备


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检测/测试系列产品

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电子束线宽检测设备

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图形晶圆缺陷检测设备

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TGV/RDL检测&量测设备

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无图形晶圆缺陷检测设备


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涂层设备系列产品

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Solid SiC化学气相沉积炉

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高温纯化炉


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炉管设备

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立式炉

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卧式炉



来源:电科装备公众号

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