2026湾区半导体产业生态博览会(深圳)
邀请函


尊敬的业界同仁:
您好!衷心感谢各位长期以来对电科装备的支持与厚爱。
2026湾区半导体产业生态博览会(深圳)将于10月14日-16日在深圳会展中心举办。电科装备将携产品亮相本次展会,诚邀您拨冗莅临我司展位参观洽谈,共话产业合作。
PART 01
展台信息
时间:2026年10月14日-10月16日
地址:深圳会展中心(福田区福华三路111号)
展位:H9馆 9C02号


PART 02
核心装备
离子注入机全系列产品
低能大束流离子注入机
高能离子注入机
中能大束流离子注入机
SiC高温离子注入机
中束流离子注入机
Smart-Cut离子注入机
CMP系列产品
12英寸CMP
8英寸CMP
6-8英寸化合物CMP
电子束直写设备
电子束直写设备
检测/测试系列产品
电子束线宽检测设备
图形晶圆缺陷检测设备
TGV/RDL检测&量测设备
无图形晶圆缺陷检测设备
涂层设备系列产品
Solid SiC化学气相沉积炉
高温纯化炉
炉管设备
立式炉
卧式炉
来源:电科装备公众号
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